158.9 纳米创纪录,国产全固态真空紫外激光器关键材料实现新突破

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1 月 29 日消息,中国科学院新疆理化技术研究所今日官宣,该所潘世烈团队成功创制出一种名为氟化硼酸铵(ABF)的新型晶体,并利用它获得了波长为 158.9 纳米的真空紫外激光。

这一突破为开发紧凑、高效的全固态真空紫外激光器提供了关键材料,未来有望在精密制造、前沿科研等领域大显身手。相关研究成果于 1 月 29 日在线发表于《自然》杂志。

非线性光学晶体是实现全固态真空紫外激光输出的核心材料,其性能直接决定了激光器的输出波长、转换效率等。在该领域,氟代硼铍酸钾晶体(KBBF)是里程碑式材料,由陈创天院士等我国科学家在上世纪九十年代发明,长期以来是唯一能够通过直接倍频技术实现 200nm 以下激光输出的实用晶体,但其层状生长习性限制了器件设计与激光输出功率。因此,寻找一种兼具真空紫外高透过性、强非线性响应、大双折射与优异生长性能的新型晶体,一直被认为是该领域的挑战性科学难题。

科研团队创新性提出真空紫外非线性光学晶体氟化设计及性能调控机制,攻克“大倍频效应-高双折射率-短紫外截止边”协同调控难题,创制出以 ABF 为代表的系列高性能晶体。

在理论突破的基础上,科研人员攻克晶体生长技术难题,成功获得厘米级高光学质量的 ABF 单晶。ABF 晶体最短相位匹配输出波长可达 158.9nm,创造了通过双折射相位匹配技术输出真空紫外激光的最短纪录。

ABF 晶体研发取得突破性进展,标志着我国在真空紫外光学晶体关键材料方向取得重要突破,为保持我国在该领域的国际领先地位做出积极贡献。

下一步,中国科学院新疆理化技术研究所将持续开展 ABF 晶体稳定生长技术、器件加工工艺及激光光源应用的研究,力争实现更短波长、更高功率的全固态真空紫外光源创新,为精密制造、前沿科研装备提供有力支撑。

附论文链接:

https://www.nature.com/articles/s41586-025-10007-z

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