台积电3nm核心负责人辞职归国!带整个团队加盟中科大

哈哈库 百科资讯 1

5月29日消息,据报道,曾主导泛林-NIMS联合项目、技术成果应用于台积电日本3nm量产线的中国科学家达博,近日正式辞去日本国立材料研究所(NIMS)终身职位,带领团队全职回国,加盟中科大担任讲席教授。

达博在NIMS仅用一年即获终身教职,成为该机构历史上最年轻的终身学者。他在电子束有效利用率问题上取得突破性成果,日本学界评价为“具有与准晶发现相当的原创性意义”,日立财团曾邀请其作为唯一外籍受访学者。

此前,达博负责了NIMS与泛林集团的联合研究项目,聚焦电子束与刻蚀设备中的关键材料和核心部件,该项目已应用于台积电日本3nm量产线。

然而,中国大陆半导体制造在5nm以下先进制程所需的核心部件、刻蚀材料等环节仍高度依赖进口,达博团队正是瞄准了这一薄弱环节。

值得一提的是,达博拒绝所有海外邀约,明确表示将推动中国半导体材料和核心零部件达到世界先进水平。

目前,团队部分成员已先期回国,在合肥参与国镜仪器科技公司的产业化平台建设。

达博是甘肃人,以高考状元身份考入中科大并完成本硕博九年学业,2013年赴日从事博士后研究,时隔13年全职归国。